Процессы на поверхности кремния при росте пленок силицидов CrSi2, VSi2 и TiSi2: (01.04.07): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / Воронеж. политехн. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Воронов, А. В. |
| Опубликовано: | Воронеж , 1988 |
| Физические характеристики: |
15 с. : граф.
|
| Язык: | Русский |
| 00000cam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr39054840000 | ||
| 005 | 20230413112922.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [88-3707а] |
| 100 | # | # | $a 20071023d1988 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Процессы на поверхности кремния при росте пленок силицидов CrSi2, VSi2 и TiSi2 $e (01.04.07) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $f Воронеж. политехн. ин-т |
| 210 | # | # | $a Воронеж $d 1988 |
| 215 | # | # | $a 15 с. $c граф. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 15 (6 назв.) |
| 686 | # | # | $a 01.04.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Воронов $b А. В. $g Алексей Валерианович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20071023 $g psbo |