Процессы на поверхности кремния при росте пленок силицидов CrSi2, VSi2 и TiSi2: (01.04.07): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / Воронеж. политехн. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Воронов, А. В. |
| Опубликовано: | Воронеж , 1988 |
| Физические характеристики: |
15 с. : граф.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||