Влияние углеродосодержащих примесей на электрофизические свойства диэлектрических пленок, полученных из газовой фазы разложением металлоорганических соединений: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.10)

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ467631СК,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Водзинский, В. Ю.
Опубликовано: Горький , 1983
Физические характеристики: 22 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr38851350000
005 20071022192549.0
100 # # $a 20071022d1983 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Влияние углеродосодержащих примесей на электрофизические свойства диэлектрических пленок, полученных из газовой фазы разложением металлоорганических соединений  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e (01.04.10) 
210 # # $a Горький  $d 1983 
215 # # $a 22 с. 
300 # # $a В надзаг.: Горьк. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского. Библиогр.: с. 19-22. Для служеб. пользования 
675 # # $a 621.315.59+539.23:547.1'13 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Водзинский  $b В. Ю.  $g Владимир Юрьевич 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071022  $g psbo