Влияние углеродосодержащих примесей на электрофизические свойства диэлектрических пленок, полученных из газовой фазы разложением металлоорганических соединений: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.10)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Водзинский, В. Ю. |
| Опубликовано: | Горький , 1983 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||