Исследование физико-химических процессов анизотропного и селективного по степени легирования травления кремния и их применение в технологии микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.18)
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Вишнева, Т. И. |
| Publié: | М. , 1979 |
| Description matérielle: |
23 с.
|
| Langue: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||