Исследование процессов тепломассопереноса при получении полупроводниковых структур методом жидкостной эпитаксии: Автореф. дис. на соиск .учен. степ. канд .физ.-мат. наук: (01.02.05) / АН СССР, Ин-т проблем механики
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Березуб, Н. А. |
| Опубликовано: | М. , 1988 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr38606640000 | ||
| 005 | 20071022184257.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20071022d1988 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование процессов тепломассопереноса при получении полупроводниковых структур методом жидкостной эпитаксии $e Автореф. дис. на соиск .учен. степ. канд .физ.-мат. наук $e (01.02.05) $f АН СССР, Ин-т проблем механики |
| 210 | # | # | $a М. $d 1988 |
| 215 | # | # | $a 22 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 22 (5 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 01.02.05 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Березуб $b Н. А. $g Наталия Анатольевна |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20071022 $g psbo |