Исследование процессов тепломассопереноса при получении полупроводниковых структур методом жидкостной эпитаксии: Автореф. дис. на соиск .учен. степ. канд .физ.-мат. наук: (01.02.05) / АН СССР, Ин-т проблем механики
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Березуб, Н. А. |
| Опубликовано: | М. , 1988 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||