О синтезе диэлектрических слоев при осаждении из газовой фазы
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Васильева, Л. Л. |
| Издание: | Препринт |
| Опубликовано: | Новосибирск , 1981 |
| Физические характеристики: |
9 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
| 00000cam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr38475750000 | ||
| 005 | 20210430114915.0 | ||
| 010 | # | # | $d Б. ц. |
| 021 | # | # | $a RU $b [81-85566] |
| 100 | # | # | $a 20071022d1981 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a О синтезе диэлектрических слоев при осаждении из газовой фазы |
| 205 | # | # | $a Препринт |
| 210 | # | # | $a Новосибирск $d 1981 |
| 215 | # | # | $a 9 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: АН СССР. Сиб. отд-ние. Ин-т физики полупроводников. Новосиб. гос. ун-т им. Лен. комсомола. Библиогр.: с. 8-9 (8 назв.) |
| 345 | # | # | $9 200 экз. |
| 606 | 0 | # | $3 BY-NLB-ar24594 $a ПОЛУПРОВОДНИКИ $2 DVNLB |
| 610 | 0 | # | $a Осаждение (хим.) |
| 675 | # | # | $a 537.311.32+543.251 |
| 700 | # | 1 | $a Васильева $b Л. Л. $g Людмила Львовна |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20071022 $g psbo |