О синтезе диэлектрических слоев при осаждении из газовой фазы
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Васильева, Л. Л. |
| Издание: | Препринт |
| Опубликовано: | Новосибирск , 1981 |
| Физические характеристики: |
9 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||