|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr38351720000 |
| 005 |
20150114110005.0 |
| 010 |
# |
# |
$b В пер.
$d 2 р. 80 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [84-92060]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071004d1984 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Радио и связь
$d 1984
|
| 215 |
# |
# |
$a 350 с.
$c ил.
$d 22 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 338―347 (224 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 3100 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Фотолитография
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.75:776
|
| 700 |
# |
1 |
$a Валиев
$b К. А.
$g Камиль Ахметович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Раков
$b А. В.
$g Александр Васильевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071004
$g psbo
|
