Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Валиев, К. А. |
| Опубликовано: | М. : Радио и связь , 1984 |
| Физические характеристики: |
350 с. : ил. ; 22 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||