
Численное моделирование фотолиза кислорода вакуумным ультрафиолетом и механизмы ВУФ травления полимерных пленок в кислородосодеражащей атмосфере / К. А. Валиев, Т. М. Махвиладзе, С. Б. Пекарчук
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Валиев, К. А. |
Опубликовано: | М. , 1986 |
Физические характеристики: |
33 с. : рис.
|
Язык: | Русский |
Серия: |
Препр. Физика твердого
№ 360 |
Предмет: |
00000cam0a22000001ib4500 | |||
001 | BY-NLB-rr38351630000 | ||
005 | 20171115150115.0 | ||
021 | # | # | $a RU $b [87-10992] |
100 | # | # | $a 20071004d1986 y0rusy50 ||||ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a RU |
200 | 1 | # | $a Численное моделирование фотолиза кислорода вакуумным ультрафиолетом и механизмы ВУФ травления полимерных пленок в кислородосодеражащей атмосфере $f К. А. Валиев, Т. М. Махвиладзе, С. Б. Пекарчук |
210 | # | # | $a М. $d 1986 |
215 | # | # | $a 33 с. $c рис. |
225 | 2 | # | $a Препр. Физика твердого $f Отд. микроэлектроники $f АН СССР, Ин-т общ. физики $v № 360 |
300 | # | # | $a Библиогр.: с. 23-24 (26 назв.) |
610 | 0 | # | $a Фотолиз |
610 | 0 | # | $a Пленки полимерные |
675 | # | # | $a 541.64:535.33-31 |
700 | # | 1 | $a Валиев $b К. А. |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20071004 $g psbo |