Численное моделирование фотолиза кислорода вакуумным ультрафиолетом и механизмы ВУФ травления полимерных пленок в кислородосодеражащей атмосфере / К. А. Валиев, Т. М. Махвиладзе, С. Б. Пекарчук

Сохранено в:
Шифр документа: 184624,
Вид документа: Книги
Автор: Валиев, К. А.
Опубликовано: М. , 1986
Физические характеристики: 33 с. : рис.
Язык: Русский
Серия: Препр. Физика твердого № 360
Предмет:
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr38351630000
005 20171115150115.0
021 # # $a RU  $b [87-10992] 
100 # # $a 20071004d1986 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Численное моделирование фотолиза кислорода вакуумным ультрафиолетом и механизмы ВУФ травления полимерных пленок в кислородосодеражащей атмосфере  $f К. А. Валиев, Т. М. Махвиладзе, С. Б. Пекарчук 
210 # # $a М.  $d 1986 
215 # # $a 33 с.  $c рис. 
225 2 # $a Препр. Физика твердого  $f Отд. микроэлектроники  $f АН СССР, Ин-т общ. физики  $v № 360 
300 # # $a Библиогр.: с. 23-24 (26 назв.) 
610 0 # $a Фотолиз 
610 0 # $a Пленки полимерные 
675 # # $a 541.64:535.33-31 
700 # 1 $a Валиев  $b К. А. 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071004  $g psbo