Численное моделирование фотолиза кислорода вакуумным ультрафиолетом и механизмы ВУФ травления полимерных пленок в кислородосодеражащей атмосфере / К. А. Валиев, Т. М. Махвиладзе, С. Б. Пекарчук
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Валиев, К. А. |
| Опубликовано: | М. , 1986 |
| Физические характеристики: |
33 с. : рис.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препр. Физика твердого
№ 360 |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||