Решение задачи оптимизации электронно-литографического процесса / К. А. Валиев, Б. Н. Ковтун, Т. М. Махвиладзе
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Валиев, К. А. |
| Опубликовано: | М. , 1987 |
| Физические характеристики: |
30 с. : рис.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препр.
№ 209 |
| Предмет: |
| 00000cam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr38351620000 | ||
| 005 | 20180427093436.0 | ||
| 010 | # | # | $d Б. ц. |
| 021 | # | # | $a RU $b [87-76914] |
| 100 | # | # | $a 20071004d1987 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Решение задачи оптимизации электронно-литографического процесса $f К. А. Валиев, Б. Н. Ковтун, Т. М. Махвиладзе |
| 210 | # | # | $a М. $d 1987 |
| 215 | # | # | $a 30 с. $c рис. |
| 225 | 2 | # | $a Препр. $f АН СССР, Ин-т общей физики $v № 209 |
| 345 | # | # | $9 100 экз. |
| 610 | 0 | # | $a Литография |
| 675 | # | # | $a 655.342:621.382.049.77 |
| 700 | # | 1 | $a Валиев $b К. А. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20071004 $g psbo |