Решение задачи оптимизации электронно-литографического процесса / К. А. Валиев, Б. Н. Ковтун, Т. М. Махвиладзе
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Валиев, К. А. |
| Опубликовано: | М. , 1987 |
| Физические характеристики: |
30 с. : рис.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препр.
№ 209 |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||