Окисление тонких пленок Ti при лазерном облучении
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Буфетова, Г. А. |
| Опубликовано: | М. , 1987 |
| Физические характеристики: |
11 с. : рис.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препр. Интегр. оптика
№ 73 |
| Предмет: |
| 00000cam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr38212490000 | ||
| 005 | 20180112092221.0 | ||
| 010 | # | # | $d Б. ц. |
| 021 | # | # | $a RU $b [87-31275] |
| 100 | # | # | $a 20071004d1987 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Окисление тонких пленок Ti при лазерном облучении |
| 210 | # | # | $a М. $d 1987 |
| 215 | # | # | $a 11 с. $c рис. |
| 225 | 2 | # | $a Препр. Интегр. оптика $f Отд. колебаний $f АН СССР, Ин-т общей физики $v № 73 |
| 345 | # | # | $9 100 экз. |
| 610 | 0 | # | $a Пленки тонкие |
| 610 | 0 | # | $a Лазерное излучение |
| 675 | # | # | $a 539.216.2:621.373.826 |
| 700 | # | 1 | $a Буфетова $b Г. А. $g Галина Алекс |
| 701 | # | 1 | $a Сычугов $b В. А. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20071004 $g psbo |