Окисление тонких пленок Ti при лазерном облучении
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Буфетова, Г. А. |
| Опубликовано: | М. , 1987 |
| Физические характеристики: |
11 с. : рис.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препр. Интегр. оптика
№ 73 |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||