Обработка поверхности и поверхностные явления в технологии микроэлектроники: Основы физ. химии поверхностных явлений. (Конспект лекций)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Бутурлин, А. И. |
| Опубликовано: | М. , 1977 |
| Физические характеристики: |
76 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
| 00000cam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr38208880000 | ||
| 005 | 20190321154133.0 | ||
| 010 | # | # | $d 12 к. |
| 021 | # | # | $a RU $b [78-47878] |
| 100 | # | # | $a 20071004d1977 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Обработка поверхности и поверхностные явления в технологии микроэлектроники $e Основы физ. химии поверхностных явлений. (Конспект лекций) |
| 210 | # | # | $a М. $d 1977 |
| 215 | # | # | $a 76 с. $c черт. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.: с. 73 (9 назв.) |
| 345 | # | # | $9 150 экз. |
| 675 | # | # | $a 621.382.049.77.002(078) |
| 700 | # | 1 | $a Бутурлин $b А. И. |
| 701 | # | 1 | $a Чистяков $b Ю. Д. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20071004 $g psbo |