Обработка поверхности и поверхностные явления в технологии микроэлектроники: Основы физ. химии поверхностных явлений. (Конспект лекций)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Бутурлин, А. И. |
| Опубликовано: | М. , 1977 |
| Физические характеристики: |
76 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||