Разработка и исследование тестовых структур для контроля параметров полупроводниковых структур методом фотоответа: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Ереван. политехн. ин-т им. К. Маркса
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Бутаев, А. Г. |
| Опубликовано: | Ереван , 1990 |
| Физические характеристики: |
25 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||