Исследование режимов получения и свойств пленок нитрида и оксинитрида кремния при ионно-реактивном распылении: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.10)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Бурдовицин, В. А. |
| Опубликовано: | Томск , 1981 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr38142470000 | ||
| 005 | 20071004153708.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20071004d1981 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование режимов получения и свойств пленок нитрида и оксинитрида кремния при ионно-реактивном распылении $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.12.10) |
| 210 | # | # | $a Томск $d 1981 |
| 215 | # | # | $a 19 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Том. ин-т АСУ и радиоэлектроники. Библиогр.: с. 17-19 (18 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.12.10 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Бурдовицин $b В. А. $g Виктор Алексеевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20071004 $g psbo |