Процессы в системе металл-кремний при осаждении и одновременном высокоэнергетическом ионном облучении в технологии формирования тонких пленок: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.06) / Каунас. политехн. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Будинавичюс, Ю. П. |
| Опубликовано: | Каунас , 1990 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr38044620000 | ||
| 005 | 20070831124706.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070831d1990 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a LT |
| 200 | 1 | # | $a Процессы в системе металл-кремний при осаждении и одновременном высокоэнергетическом ионном облучении в технологии формирования тонких пленок $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.06) $f Каунас. политехн. ин-т |
| 210 | # | # | $a Каунас $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 20 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 19-20 (15 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.06 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Будинавичюс $b Ю. П. $g Юозас Пятрович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070831 $g psbo |