Процессы в системе металл-кремний при осаждении и одновременном высокоэнергетическом ионном облучении в технологии формирования тонких пленок: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.06) / Каунас. политехн. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Будинавичюс, Ю. П. |
| Опубликовано: | Каунас , 1990 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||