Разработка теоретических и экспериментальных основ вакуумных дроцессов в квазизамкнутом объеме и их применение в микроэлектронике: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (05.12.18)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Бубнов, Ю. З. |
| Опубликовано: | Л. , 1983 |
| Физические характеристики: |
31 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr38019860000 | ||
| 005 | 20070831123526.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070831d1983 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка теоретических и экспериментальных основ вакуумных дроцессов в квазизамкнутом объеме и их применение в микроэлектронике $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук $e (05.12.18) |
| 210 | # | # | $a Л. $d 1983 |
| 215 | # | # | $a 31 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина). Библиогр.: с. 26-31 (56 назв.). Для служеб. пользования |
| 675 | # | # | $a 621.3.049.774.002 |
| 686 | # | # | $a 05.12.18 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Бубнов $b Ю. З. $g Юрий Захарович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070831 $g psbo |