Разработка теоретических и экспериментальных основ вакуумных дроцессов в квазизамкнутом объеме и их применение в микроэлектронике: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (05.12.18)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Бубнов, Ю. З. |
| Опубликовано: | Л. , 1983 |
| Физические характеристики: |
31 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||