Получение и свойства пленок нитридов германия и кремния: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (05.16.07)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Борисов, О. П. |
| Опубликовано: | Л. , 1978 |
| Физические характеристики: |
17 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||