Трибометрический метод контроля чистоты поверхности кремниевых пластин: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. хим. наук: (02.00.02)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Богатырев, А. Е. |
| Опубликовано: | Горький , 1977 |
| Физические характеристики: |
21 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr37566980000 | ||
| 005 | 20070831101111.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070831d1977 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Трибометрический метод контроля чистоты поверхности кремниевых пластин $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. хим. наук $e (02.00.02) |
| 210 | # | # | $a Горький $d 1977 |
| 215 | # | # | $a 21 с. |
| 300 | # | # | $a Для служеб. пользования. В надзаг. Горьк. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского. Библиогр.: с. 21 (6 назв.) |
| 686 | # | # | $a 02.00.02 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Богатырев $b А. Е. $g Александр Евгеньевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070831 $g psbo |