Трибометрический метод контроля чистоты поверхности кремниевых пластин: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. хим. наук: (02.00.02)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Богатырев, А. Е. |
| Опубликовано: | Горький , 1977 |
| Физические характеристики: |
21 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||