|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr37507380000 |
| 005 |
20180109152217.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 22 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [87-29609]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070830d1987 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Процессы и оборудование для нанесения тонких пленок в вакууме
$e Учеб. пособие по курсу "Вакуум. оборудование для нанесения тонких пленок ИС"
$f И. Г. Блинов, Ю. Я. Мелехин, Ю. В. Панфилов
$g Моск. ин-т электрон. пром-сти
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1987
|
| 215 |
# |
# |
$a 71 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 70 (7 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 150 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Пленки тонкие - Нанесение в вакууме
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.772.1:621.793.14(075.8)
|
| 700 |
# |
1 |
$a Блинов
$b И. Г.
$g Иван Григорьевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070830
$g psbo
|
