Процессы и оборудование для нанесения тонких пленок в вакууме: Учеб. пособие по курсу "Вакуум. оборудование для нанесения тонких пленок ИС" / И. Г. Блинов, Ю. Я. Мелехин, Ю. В. Панфилов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Блинов, И. Г. |
| Опубликовано: | М. , 1987 |
| Физические характеристики: |
71 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||