Некоторые свойства пленок нитрида кремния, осажденных из паровой фазы с использованием системы SiH₄-NH₃-H₂

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ103485,
Вид документа: Книги
Автор: Бин, К.
Опубликовано: М. , 1967
Физические характеристики: 23 с. : илл.
Язык: Русский
Серия: Переводы иностр. литературы. Серия: Полупроводниковые приборы и микроэлектроника Пер. № 106/ЭТ-2880
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr37448670000
005 20070830154256.0
100 # # $a 20070830d1967 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Некоторые свойства пленок нитрида кремния, осажденных из паровой фазы с использованием системы SiH₄-NH₃-H₂ 
210 # # $a М.  $d 1967 
215 # # $a 23 с.  $c илл. 
225 2 # $a Переводы иностр. литературы. Серия: Полупроводниковые приборы и микроэлектроника  $f М-во электронной пром-сти СССР. Центр. науч.-исслед. ин-т техн.-экон. исслед. и науч. информации  $v Пер. № 106/ЭТ-2880 
300 # # $a Библиогр.: с. 22-23 (16 назв.) 
675 # # $a 539.216.2+[016.3] 
700 # 1 $a Бин  $b К. 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070830  $g psbo