Некоторые свойства пленок нитрида кремния, осажденных из паровой фазы с использованием системы SiH₄-NH₃-H₂
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Бин, К. |
| Опубликовано: | М. , 1967 |
| Физические характеристики: |
23 с. : илл.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Переводы иностр. литературы. Серия: Полупроводниковые приборы и микроэлектроника
Пер. № 106/ЭТ-2880 |
| 00000nam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr37448670000 | ||
| 005 | 20070830154256.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070830d1967 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Некоторые свойства пленок нитрида кремния, осажденных из паровой фазы с использованием системы SiH₄-NH₃-H₂ |
| 210 | # | # | $a М. $d 1967 |
| 215 | # | # | $a 23 с. $c илл. |
| 225 | 2 | # | $a Переводы иностр. литературы. Серия: Полупроводниковые приборы и микроэлектроника $f М-во электронной пром-сти СССР. Центр. науч.-исслед. ин-т техн.-экон. исслед. и науч. информации $v Пер. № 106/ЭТ-2880 |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 22-23 (16 назв.) |
| 675 | # | # | $a 539.216.2+[016.3] |
| 700 | # | 1 | $a Бин $b К. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070830 $g psbo |