Некоторые свойства пленок нитрида кремния, осажденных из паровой фазы с использованием системы SiH₄-NH₃-H₂
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Бин, К. |
| Опубликовано: | М. , 1967 |
| Физические характеристики: |
23 с. : илл.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Переводы иностр. литературы. Серия: Полупроводниковые приборы и микроэлектроника
Пер. № 106/ЭТ-2880 |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||