Эллипсометрические исследования кремниевых границ раздела: (01.04.10): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / Ин-т полупроводников АН УССР
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Бендере, Р. Б. |
Опубликовано: | Киев , 1986 |
Физические характеристики: |
15 с.
|
Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|