|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr37210590000 |
| 005 |
20070830144023.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20070830d1988 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a UA
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование закономерностей формирования и электрофизических свойств пленок силицидов тугоплавких металлов, контактных структур на их основе для кремниевых интегральных схем
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e (05.27.01)
$f АН УССР, Ин-т кибернетики им. В. М. Глушкова
|
| 210 |
# |
# |
$a Киев
$d 1988
|
| 215 |
# |
# |
$a 16 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 15-16 (19 назв.). Для служеб. пользования
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Белоусов
$b И. В.
$g Игорь Владимирович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070830
$g psbo
|
