Исследование закономерностей формирования и электрофизических свойств пленок силицидов тугоплавких металлов, контактных структур на их основе для кремниевых интегральных схем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / АН УССР, Ин-т кибернетики им. В. М. Глушкова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Белоусов, И. В. |
| Опубликовано: | Киев , 1988 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||