Оптические и электрофизические свойства аморфных пленок нитрида и оксинитрида кремния переменного состава: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.10) / АН Азерб. Респ., Ин-т физики
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Баширов, М. З. |
| Опубликовано: | Баку , 1992 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr37029770000 | ||
| 005 | 20070828161512.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070828d1992 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a AZ |
| 200 | 1 | # | $a Оптические и электрофизические свойства аморфных пленок нитрида и оксинитрида кремния переменного состава $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $e (01.04.10) $f АН Азерб. Респ., Ин-т физики |
| 210 | # | # | $a Баку $d 1992 |
| 215 | # | # | $a 19 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 18-19 (19 назв.) |
| 686 | # | # | $a 01.04.10 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Баширов $b М. З. $g Мусавер Забит оглы |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070828 $g psbo |