Оптические и электрофизические свойства аморфных пленок нитрида и оксинитрида кремния переменного состава: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.10) / АН Азерб. Респ., Ин-т физики
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Баширов, М. З. |
| Опубликовано: | Баку , 1992 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||