Исследование процесса наращивания автоэпитаксиальных слоев кремния с целью создания высокопроизводительного оборудования для получения структур большого диаметра: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (05.17.16)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Басовский, А. А. |
| Опубликовано: | М. , 1978 |
| Физические характеристики: |
27 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr36960530000 | ||
| 005 | 20070828155108.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070828d1978 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование процесса наращивания автоэпитаксиальных слоев кремния с целью создания высокопроизводительного оборудования для получения структур большого диаметра $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук $e (05.17.16) |
| 210 | # | # | $a М. $d 1978 |
| 215 | # | # | $a 27 с. |
| 300 | # | # | $a Для служеб. пользоваиия. В надзаг.: Моск. ин-т электрон. техники |
| 686 | # | # | $a 05.17.16 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Басовский $b А. А. $g Андрей Андреевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070828 $g psbo |