Исследование процесса наращивания автоэпитаксиальных слоев кремния с целью создания высокопроизводительного оборудования для получения структур большого диаметра: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (05.17.16)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Басовский, А. А. |
| Опубликовано: | М. , 1978 |
| Физические характеристики: |
27 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||