Исследование радиационых дефектов в имплантационных слоях кремния методом ИК-спектроскопии: (01.04.10): автореферат дис. на соиск. учен. степени канд. физ.-мат. наук / Ин-т атомной энергии им. И. В. Курчатова
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Баранова, Е. К. |
Опубликовано: | М. , 1975 |
Физические характеристики: |
22 с.
|
Язык: | Русский |
00000cam0a22000001ia4500 | |||
001 | BY-NLB-rr36847710000 | ||
005 | 20170301140740.0 | ||
021 | # | # | $a RU $b [75-29074а] |
100 | # | # | $a 20070828d1975 y0rusy50 ||||ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a RU |
200 | 1 | # | $a Исследование радиационых дефектов в имплантационных слоях кремния методом ИК-спектроскопии $e (01.04.10) $e автореферат дис. на соиск. учен. степени канд. физ.-мат. наук $f Ин-т атомной энергии им. И. В. Курчатова |
210 | # | # | $a М. $d 1975 |
215 | # | # | $a 22 с. |
300 | # | # | $a Список лит.: с. 21-22 (21 назв.) |
686 | # | # | $a 01.04.10 $2 oksvnk |
700 | # | 1 | $3 BY-SEK-ar6675490 $a Баранова $b Е. К. $g Елена Константиновна $c информационная безопасность |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070828 $g psbo |