Исследование радиационых дефектов в имплантационных слоях кремния методом ИК-спектроскопии: (01.04.10): автореферат дис. на соиск. учен. степени канд. физ.-мат. наук / Ин-т атомной энергии им. И. В. Курчатова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Баранова, Е. К. |
| Опубликовано: | М. , 1975 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||