|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr36517270000 |
| 005 |
20201111103539.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 10 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [89-37019]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070827d1988 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Физические принципы микротехнологии
$f МГУ им. М. В. Ломоносова, Физ. фак., НИИ ядер. физики, Каф. атом. физики и физики плазмы
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Изд-во Моск. ун-та
$d 1988
|
| 215 |
# |
# |
$a 62 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 62
|
| 345 |
# |
# |
$9 300 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы, интегральные сверхбольшие
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.771.14
|
| 700 |
# |
1 |
$a Ахманов
$b А. С.
$g Александр Сергеевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070827
$g psbo
|
