Физические принципы микротехнологии / МГУ им. М. В. Ломоносова, Физ. фак., НИИ ядер. физики, Каф. атом. физики и физики плазмы
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Ахманов, А. С. |
| Опубликовано: | М. : Изд-во Моск. ун-та , 1988 |
| Физические характеристики: |
62 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||