|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr36450930000 |
| 005 |
20170119094825.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 32 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [86-82106]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070827d1986 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Ионное легирование в производстве полупроводниковых интегральных микросхем
$e Учеб. пособие по курсу «Электрон.-ион. технология»
$f Н. А. Астахова, Б. А. Вишняков, Г. И. Глазова
$g Моск. ин-т электрон. техники
$g Под ред. Б. А. Вишнякова
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c МИЭТ
$d 1986
|
| 215 |
# |
# |
$a 107 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 105 (7 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 400 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводники - Легирование ионное
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002:66.085(075.8)
|
| 700 |
# |
1 |
$a Астахова
$b Н. А.
$g Нэлли Андреевна
|
| 701 |
# |
1 |
$a Вишняков
$b Б. А.
$g Борис Александрович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Глазова
$b Г. И.
$g Галина Ивановна
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070827
$g psbo
|
