Ионное легирование в производстве полупроводниковых интегральных микросхем: Учеб. пособие по курсу «Электрон.-ион. технология» / Н. А. Астахова, Б. А. Вишняков, Г. И. Глазова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Астахова, Н. А. |
| Опубликовано: | М. : МИЭТ , 1986 |
| Физические характеристики: |
107 с. : ил. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||