Ионное легирование в производстве полупроводниковых интегральных микросхем: Учеб. пособие по курсу «Электрон.-ион. технология» / Н. А. Астахова, Б. А. Вишняков, Г. И. Глазова
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Астахова, Н. А. |
| Published: | М. : МИЭТ , 1986 |
| Physical Description: |
107 с. : ил. ; 20 см
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||