Разработка и исследование процесса полирования полупроводниковых материалов композициями коллоидного кремнезёма (аэросила): Автореф. дис. на соиск. учён. степ. канд. техн. наук: (05.17.16)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Артёмов, А. С. |
| Опубликовано: | М. , 1978 |
| Физические характеристики: |
32 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||