Исследование и разработка технологии ионной имплантации кремния молекулярными ионами при формировании специализированных интегральных микроэлектронных устройств РЭА: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.13) / Моск. авиац. технолог. ин-т им. К. Э. Циолковского

Сохранено в:
Шифр документа: 97378/89СК,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Артамонов, В. В.
Опубликовано: М. , 1989
Физические характеристики: 20 с.
Язык: Русский

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
97378/89СК ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:2:70 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал