|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr36315070000 |
| 005 |
20201005101947.0 |
| 010 |
# |
# |
$d Б. ц.
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070810d1989 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Практическая коррекция эффекта близости в электронной литографии
$f В. В. Аристов, С. И. Зайцев, А. А. Свинцов
$g АН СССР, Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов
|
| 205 |
# |
# |
$a Препр.
|
| 210 |
# |
# |
$a Черноголовка
$d 1989
|
| 215 |
# |
# |
$a 46 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 45-46 (20 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 150 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Литография электронная
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.774
|
| 700 |
# |
1 |
$a Аристов
$b В. В.
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070810
$g psbo
|
