Практическая коррекция эффекта близости в электронной литографии / В. В. Аристов, С. И. Зайцев, А. А. Свинцов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Аристов, В. В. |
| Издание: | Препр. |
| Опубликовано: | Черноголовка , 1989 |
| Физические характеристики: |
46 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||