Практическая коррекция эффекта близости в электронной литографии / В. В. Аристов, С. И. Зайцев, А. А. Свинцов
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 主要作者: | Аристов, В. В. |
| Издание: | Препр. |
| 出版: | Черноголовка , 1989 |
| 實物描述: |
46 с.
|
| 語言: | Русский |
| 主題: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||