Поведение дефектов в слоях кремния, амморфизованных имплантацией ионов переходных элементов / Антоненко А. Х., Двуреченский А. В., Дравин В. А.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Антоненко, А. Х. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 1983 |
| Физические характеристики: |
28 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препринт
1-83 |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||